Какие права и категории нужны на бобкэт
Bobcat — бренд, востребованный во всем мире.
Бело-красные машины с рысью на логотипе нередко работают на стройплощадках,
в сельском хозяйстве, при благоустройстве и очистке территорий.
В портфеле Bobcat представлен широкий модельный ряд компактных погрузчиков и экскаваторов, а также полноразмерных экскаваторов-погрузчиков и телескопических погрузчиков. Машины Bobcat относятся к самоходной технике спецназначения, поэтому для управления ими обычное автомобильное водительское удостоверение не годится. Оператору, чтобы работать на этих машинах, нужно получить права соответствующей категории. Сегодня мы расскажем, какие права на «Бобкэт» требуются, а также что нужно, чтобы их получить.
Итак, начнем.
Категория удостоверения зависит от типа и грузоподъемности машины. Согласно Гостехнадзору, в зоне ответственности которого находится самоходная техника, безопасность ее использования и передвижения, выделяют шесть категорий:
(1–4) – спецтехника для склада мощностью до 4 кВт
компактные машины на колесном или гусеничном ходу мощностью не больше 25,7 кВт:
мини-тракторы и экскаваторы, а также большая часть погрузчиков с электроприводом.
колесная техника мощностью 25,7 – 110,3 кВт. Категория считается самой распространенной
за счет того, что в нее входит преобладающая часть вилочных погрузчиков.
автопогрузчики, экскаваторы и прочие колесные машины с силовым агрегатом
мощностью больше 110,3 кВт.
гусеничная техника мощностью более 25,7 кВт.
самоходные машины для сельского хозяйства.
Для обеспечения безопасности очень важно, чтобы оператор выполнял работы, соответствующие присвоенной
Впрочем, при открытых категориях В, С, D и Е отметки уже не обязательны.
Теперь обратимся к конкретным примерам.
Дано: мини-погрузчик или мини-экскаватор Bobcat,
масса до 5 т, мощность – от 4 до 25,7 кВт.
до 5 т
4-25,7 кВт
B
«водитель погрузчика»,
«машинист экскаватора»,
«водитель электропогрузчика».
Чтобы управлять такой машиной, нужно удостоверение машиниста-тракториста категории «В».
При этом не играет роль, на бензине или дизельном топливе работает двигатель или же это электропривод, главное условие – мощность силовой установки не должна быть больше 25,7 кВт. В правах ставятся отметки ««водитель погрузчика», «машинист экскаватора», «водитель электропогрузчика».
Следующий пример. Допустим, у нас есть погрузчик или
экскаватор-погрузчик, мощность составляет от 25,7 до 110 кВт.
до 5 т
25,7-110 кВт
C
«машинист экскаватора»,
«тракторист»,
«водитель экскаватора».
В таком случае, чтобы работать на них, нужно получить права категории «С». Распространенные отметки здесь: «машинист экскаватора», «тракторист», «водитель экскаватора».
Важный момент: если мощность эксплуатируемой техники не превышает 4 кВт, то для управления ей хватит выданного учебным центром удостоверение. Но при этом водителю следует ежегодно подтверждать квалификацию, проходя переаттестацию.
Помимо непосредственно нужной категории на «Бобкэт» и отметки в правах также должен быть открыт нужный разряд, свидетельствующий об уровне квалификации водителя.
Регламентирует данные отметки документ под названием ЕТКС.
II
Итак, II разряд разрешает водителю работать на погрузчике только под присмотром специалиста более высокой квалификации.
III
III разряд, соответствующий категории «В», позволяет оператору работать на погрузчиках самостоятельно, а также проводить текущий ремонт и ТО машины.
IV
IV разряд соответствует категории «С» и дает право оператору управлять спецтехникой мощностью до 73,5 кВт или 100 л.с., а также заниматься ТО, ремонтом.
V
При открытом V разряде можно работать на погрузчиках мощностью от 73,5 до 147 кВт.
VI
VI разряд допускает водителя к управлению техникой мощностью от 147 кВт до 200кВт.
VII
Наконец, при наличии VII разряда можно управлять машинами мощностью выше 200 кВт.
Теперь переходим к следующей части разговора. Что же нужно, чтобы получить заветные «корочки» нужной категории?
Сначала следует обратиться в Гостехнадзор, пройти медкомиссию, подготовить пакет документов и выбрать учебное заведение.
Обучать на водителя погрузчика имеют право только сертифицированные и аккредитованные в Гостехнадзоре учебные центры, обычные автошколы не подходят.
Курсы обычно длятся 2,5 – 3 месяца и состоят из двух разделов.
На теоретической части студентам даются знания, без которых невозможна грамотная эксплуатация машины и самостоятельное решение мелких проблем. Будущие машинисты изучают конструктивные особенности техники разных видов, правила работы с грузами и другие технические моменты. Если у потенциального оператора нет автомобильных водительских прав, то он также изучает основы ПДД.
Во время практической части обучающиеся на полигоне в приближенных к рабочим условиям отрабатывают навыки управления машиной, включая маневрирование, перевозку, укладку, разгрузку и погрузку грузов различных габаритных размеров.
Когда курсы закончатся, студенты сдают экзамен. Если испытание пройдено успешно, то спустя 7—10 дней, чтобы получить «корочки», в Гостехнадзор нужно предоставить паспорт либо временно заменяющее его свидетельство, квитанцию об оплате госпошлины, фотографии размером 3х4, справку о прохождении медкомиссии и копию бланка о сдаче экзамена.
Паспорт/
свидетельство
Квитанция
Фотографии
3х4
Справка
медкомиссии
Копия бланка
о сдаче экзамена
Права водителя погрузчика выдаются на 10 лет, при этом на протяжении периода ежегодно нужно проходить переаттестацию, чтобы подтверждать свой уровень квалификации.
И хотя право управлять той или иной машиной получает каждый оператор с правами соответствующей категории, важно учитывать специфику труда, задачи и условия эксплуатации. Так, если мини-погрузчик используется в складских помещениях, то водителю техники необходимо обладать навыками управления со сложными траекториями для достижения оптимальной маневренности в стесненных условиях.
Помните, что создание безопасных условий труда на объекте, где используется спецтехника, очень важно, как для сотрудников, так и для руководства предприятий.
Нарушение установленных правил и допуск к управлению машинами Bobcat специалистов без соответствующего удостоверение чреваты не только штрафами и судебными разбирательствами, но и большим риском для здоровья и жизни людей.
В каких ситуациях инспектор ГИБДД может изъять права на месте
Правонарушения, которые караются лишением водительского удостоверения, должны обязательно рассматриваться в суде. В случае если водитель не согласен с решением суда и хочет его обжаловать, в течение последующих 10 дней он должен подать апелляцию в вышестоящую инстанцию.
Все это время такой автомобилист может на законных основаниях ездить на своем автомобиле. Однако если в апелляции ему будет отказано и вердикт суда первой инстанции останется в силе, то принятое ранее судебное решение вступит в силу сразу же. С этого момента и отчитывается срок лишения прав.
И согласно пункту 1 статьи 32.7 КоАП РФ, наказанный автомобилист в течение трех дней после вступления в силу судебного постановления обязан добровольно и самостоятельно сдать свое удостоверение в местное отделение ГИБДД.
Конечно же, водитель может саботировать это требование. Но в этом случае срок лишения будет автоматически увеличиваться, так как считать его начнут с того момента, когда автомобилист все же сдаст этот документ в ГИБДД.
А вот в ряде случаев, перечисленных в статье 27 12 КоАП, сотрудник Госавтоинспекции имеет право полностью отстранить водителя от управления его автомобилем. Само по себе отстранение от управления машиной отличается от лишения водительских прав. Если лишение реализуется только в судебном порядке и действует от 1 месяца до 3 лет, в зависимости от меры наказания, то отстранение — это своего рода краткосрочное лишение права использовать автомобиль. И наступает оно в определенных случаях.
Итак, основанием для отстранения водителя от управления автомобилем является, в частности, отсутствие у автомобилиста регистрационных документов на машину. Также могут отстранить водителя от управления машины, у которой обнаружены неисправности в работе тормозной системы, рулевого управления и сцепления.
Кроме того, если проверяющий инспектор обнаружит, что за рулем находится водитель, не имеющий прав на управления автомобилем или лишенный такого документа, нарушителя также отстранят. И, конечно же, отстранение от управления авто применяется в отношении водителя, который сел за руль в состоянии алкогольного или наркотического опьянения.
В той же статье 27.12 КоАП говорится о том, что решение об отстранении водителя от управления машиной может на месте принять сам инспектор ГИБДД. При том он должен составить протокол и сделать это в присутствии двух понятых или заснять весь процесс оформления на видео.
Водитель может, кстати, отказаться подписывать протокол об отстранении, что тоже должно быть зафиксировано в этом документе. На период действия отстранения по техническим неисправностям машина перемещается на штрафстоянку, и находится там до того момента, пока сами эти причины не будут устранены. Важно отметить, что этот временный запрет распространяется и на водителя, и на автомобиль.
Если водителя отстраняют от управления машиной на основании того, что он находился за рулем в состоянии опьянения, то его обязательно направляют на медицинское освидетельствование. И в этом случае сотрудник ГИБДД должен составить протокол, указав в том числе и основания для отстранения.
Чтобы обезопасить себя от неправомерных действий сотрудников ГИБДД при отстранении от управления машиной, водитель должен не забывать о некоторых правилах. Так, если от него требуют пройти анализ на наличие алкоголя в крови, он может требовать, чтобы эти действия были произведены в больнице.
Также водитель, который забыл свое удостоверение дома, может позвонить родственникам и попросить их привезти ему документы. Кроме того, автомобилист может потребовать внести в протокол об отстранении свою версию произошедшего и дать свои объяснения случившемуся.
Модульное решение для стандартизации контрактов и гибкости — Искусственный юрист
Одним из стартапов в области юридических технологий, который может помочь в решении проблемы стандартизации контрактов и гибкости, является The Law Machine, которая разбивает контракты на составные части, а затем позволяет вам создавать желаемое соглашение из этих фиксированных элементов.
Например, если вы хотите создать новый контракт, вы можете выбрать из множества пунктов и определений, отображаемых в интерфейсе. Вы перетаскиваете части в документ по мере продвижения. Эти элементы можно редактировать, если это действительно необходимо, а затем добавлять конкретные данные для этого соглашения (см. изображение ниже).
Конечно, библиотеки предложений — это уже хорошо проработанная идея, но здесь выделяется то, что продукт полностью ориентирован на модульный подход.
Перетащите из области справа в рамки контракта слева. Подробнее смотрите в видео ниже. Что еще понравилось этому сайту, так это то, как он уравновешивал стандартизацию с необходимостью быть гибким. Например, компания может создать «палитру» стандартных положений, но она также хочет, чтобы ее юристы могли быстро изменять или расширять документ при необходимости. С подходом The Law Machine вы можете сделать это , потому что вы имеете дело не со всем документом, а с его частями .
Это позволяет вам придерживаться внутренних стандартов организации или более широких отраслевых стандартов, например. oneNDA, но также иметь дополнительную возможность настраивать по своему усмотрению, добавляя части из этой предварительно согласованной палитры, которые вы хотите , на основе пункта за пунктом.
Artificial Lawyer поговорил с основателем и юристом, Эндрю Стоуксом (на фото), о стартапе.
- Что натолкнуло вас на эту идею?
Моя предыдущая бизнес-идея нуждалась в автоматизации документов, но традиционный процесс автоматизации документов казался мне ужасным. Я думал, что смогу изобрести что-нибудь получше.
Я установил для себя несколько принципов проектирования:
- Быть как можно более модульным — модульность помогает повторно использовать контент и автоматизировать процессы. Я создал «толстые» модульные библиотеки контента с большим количеством элементов — очевидно, с предложениями, но также и с гранулированными элементами, такими как переменные и определенные термины.
- Тонкие шаблоны — в шаблонах как можно меньше, только названия пунктов по порядку и простая логика о том, когда их включать.
- Заставьте систему делать работу – например, мой юрист никогда не хотел снова делать еще одну таблицу определений. Я также хотел, чтобы анкеты самообслуживания генерировались автоматически.
- Сделайте это визуальным, чтобы упростить задачу – У меня возникла идея рисовать методом перетаскивания на Eurostar, и это было своего рода озарением. Я понял, что если я хочу, чтобы моя система была намного проще в использовании, то она должна быть визуальной.
- Не создавайте бункеры — я хотел, чтобы пользователи могли импортировать и экспортировать библиотеки и шаблоны через диспетчер пакетов. Это упростило бы сохранение, совместное использование и повторное использование автоматизированного легального контента.
Это были жесткие ограничения, и развитие было непростым.
Но получилось!
– Чем лучше использовать такие «модули», чем начинать с полного шаблона?
Модульность помогает вам автоматизировать больше контрактов и значительно упрощает обслуживание и повторное использование вашего юридического контента. Это также разрушает бункеры ноу-хау.
Традиционные системы автоматизации документов используют «толстые шаблоны» — толстые, потому что они содержат весь контент.
Толстые шаблоны заставляют вас беспокоиться о том, что автоматизировать.
Традиционная автоматизация документов состоит из двух этапов. Сначала вы составляете документ вручную. Затем вы автоматизируете. Часто лучше остановиться на первом шаге — вы делаете второй шаг, только если будете часто использовать автоматизацию. Короче говоря, есть арбитраж.
Юридическая машина использует другую парадигму. Сначала вы автоматизируете, и нет второго шага.
Вы начинаете черновик, повторно используя имеющиеся у вас предложения — вы перетаскиваете их в свой шаблон.
Затем вы добавляете любой новый материал в свою библиотеку и перетаскиваете его. Вот и все.
Позже, когда вы создадите экземпляр договора, система сделает за вас фактическое составление — копирование и вставка пунктов, заполнение квадратных скобок, создание таблиц определений, сортировка автонумерации. Все это больше не твоя работа.
Процесс создания шаблона очень быстрый — как минимум в три раза быстрее, чем составление аналогичного документа вручную. Это похоже на быстрое прототипирование ваших контрактов. Вы делаете прототип и получаете автоматизацию и анкету бесплатно. Нет смысла составлять вручную даже для одноразового контракта. Там нет арбитража.
Когда у вас есть модульный контент, его легко поддерживать. Вместо того, чтобы обновлять каждое место, где используется предложение, вы делаете это один раз в библиотеке. Шаблоны отслеживают эти обновления. Напротив, поддержание толстых шаблонов является трудоемким и повторяющимся. Они также сохраняют ваши ноу-хау разрозненными и трудными для повторного использования.
– Для кого это предназначено?
Штатные консультанты, которые перегружены работой и нуждаются в увеличении пропускной способности. Прототипирование делает это, а также дает юристам гибкий способ позволить своим внутренним клиентам заключать контракты с самообслуживанием.
Юридические фирмы также заинтересованы – система дает им новый способ ускорить доставку своих юристов и управлять рисками работы с фиксированной оплатой. Знание того, что вы можете быстрее создавать чертежи на заказ, позволяет вам с выгодой решать более широкие категории работы.
– Может ли другая сторона редактировать документ после того, как он был создан таким образом, и если да, то как они это делают?
Шаблоны перетаскивания позволяют создавать игровые книги. Вы можете предложить различные варианты (скажем) ограничения ответственности и соответствующим образом адаптировать другие пункты. Затем вы можете провести переговоры на высоком уровне и согласовать важные моменты.
Если подробное согласование по-прежнему необходимо, вы можете загрузить версию документа Word и согласовать его вручную.
Наша цель — очень быстро доставить вас на первую базу с документом. Мы смотрим, как обеспечить дополнительную поддержку переговоров, но лучший способ сделать это для нас пока не ясен. Чтобы быть полезным, вы должны быть приняты контрагентами, что, как правило, является сложной задачей с переговорными платформами.
– На каком этапе находится компания?
Мы на ранней стадии, но определенно открыты для бизнеса! Пока что мы запустились, но мы планируем первое повышение, чтобы создать нашу команду и усовершенствовать продукт.
– Куда бы вы хотели, чтобы в конечном итоге пришла компания?
Меня очень вдохновляет индустрия разработки программного обеспечения и ее практика. Разработчики могут включать все виды программных модулей с открытым исходным кодом, используя менеджеры пакетов. Модульность экономит огромное количество времени и денег в отрасли.
Это демократизирует все виды экспертизы.
Мне бы очень хотелось, чтобы The Law Machine использовала модульность, чтобы таким же образом помочь юридической отрасли. В нем уже есть менеджер пакетов для импорта и экспорта библиотек и шаблонов. Следующим шагом является содержание — вот почему я создаю библиотеку контента с открытым исходным кодом под названием 8020. Она нацелена на 20% пунктов, которые используются в коммерческих проектах 80% времени. Я бы хотел, чтобы это было принято.
Спасибо, Эндрю, все выглядит очень интересно. Не терпится увидеть, как будут развиваться события!
А вот короткое видео о том, как это работает:
The Law Machine Production, 2022.
Внутри машины, спасшей Закон Мура костюм кролика, чтобы посмотреть, как идут дела.
Перед ним сверкающий кусок стекла размером примерно с тостер, на котором так много выемок, чтобы уменьшить его вес, что он выглядит как инопланетный тотем. Команда Уилана приклеивает его к большому куску алюминия размером с кофейный столик. И металл, и стекло удивительно гладкие, их полировали в течение нескольких недель, чтобы устранить мельчайшие дефекты. В течение следующих 24 часов, пока клей затвердевает, рабочие будут невротически следить за положением стекла и металла, чтобы убедиться, что они соединяются именно так.
«Они будут совмещены с точностью до микрона», — говорит мне Уилан, указывая на аппарат.
Ближайший техник беспокоится, что он слишком близко, и визжит: Назад!
«Я не трогаю! Я не прикасаюсь!» — смеется Уилан.
Точность здесь очень важна. Я нахожусь в Уилтоне, штат Коннектикут, в чистой комнате голландской компании ASML, которая производит самую сложную в мире машину для литографии — важнейшего процесса, используемого для создания транзисторов, проводов и других основных компонентов микросхем.
Это желанное устройство, модели которого стоят до 180 миллионов долларов, используется для создания микрочипов размером до 13 нанометров в быстром темпе. Такой уровень точности имеет решающее значение, если вы представитель Intel или TSMC и хотите производить самые быстрые в мире передовые компьютерные процессоры. Последняя машина, собранная в штаб-квартире ASML в Нидерландах, имеет размер небольшого автобуса и состоит из 100 000 крошечных скоординированных механизмов, включая систему, которая генерирует высокоэнергетический ультрафиолетовый свет с определенной длиной волны, выбрасывая капли расплавленного олова с лазер 50000 раз в секунду. Чтобы отправить один покупателю, требуется четыре Боинга 747.
«Это очень сложная технология — по сложности она, вероятно, относится к категории Манхэттенского проекта», — говорит Сэм Сивакумар, директор Intel по литографии.
Здесь, в Уилтоне, особенно важен модуль из стекла и металла, который строят Уилан и его команда. Он будет нести шаблоны, необходимые для изготовления микрочипа, и будет свистеть туда-сюда, в то время как машина облучает его экстремальным ультрафиолетовым (EUV) светом, освещая различные части рисунка чипа.
Затем свет падает на кремниевую пластину размером с обеденную тарелку, сжигая рисунок на месте.
Уилан подходит к видеомонитору, на котором видно, как одно из этих приспособлений из стекла и металла прыгает туда-сюда во время тестирования. Он весит 30 килограммов, но движется как в тумане.
«Он разгоняется быстрее, чем истребитель», — говорит Уилан, его коротко подстриженная борода и очки скрыты за снаряжением. «Если есть что-то незакрепленное, оно разлетится». Более того, говорит он, аппарат должен останавливаться в точке размером с нанометр — «так что у вас есть одна из самых быстрых вещей на земле, которая останавливается практически на самой маленькой точке».
Этот стеклянный зажим (черный прямоугольник, вверху в центре) используется для удержания масок, содержащих шаблоны чипов, которые необходимо перенести на пластину.CHRISTOPHER PAYNE
Вид крупным планом на стеклянный зажим, используемый для удержания масок.CHRISTOPHER PAYNE
Это сочетание скорости и точности является ключом к соблюдению закона Мура — наблюдения, согласно которому количество транзисторов, втиснутых в микрочип, удваивается примерно каждые два года по мере того, как компоненты становятся все меньше, что делает чипы более дешевыми и более мощными.
Чем плотнее вы упаковываете транзисторы, тем быстрее электрические сигналы могут проходить по чипу. Начиная с 60-х годов производители чипов уменьшали размеры компонентов, переходя примерно каждые десять лет на новую форму света с меньшей длиной волны. Но к концу 90s производители застряли на 193-нм свете и горячо обсуждали, что делать дальше. Ситуация становилась все более и более плачевной. Производителям микросхем приходилось использовать все более сложные конструкции и методы, чтобы закон Мура продолжал действовать, но им удалось добиться еще двух десятилетий повышения производительности.
Затем, в 2017 году, ASML представила готовую к производству машину EUV, которая использует свет с длиной волны всего 13,5 нанометров. С такой короткой длиной волны производители чипов могут размещать транзисторы более плотно, чем когда-либо прежде. Процессоры могут быстрее обрабатывать числа, потреблять меньше энергии или просто становиться меньше. Первые поколения чипов с крошечными функциями EUV уже работают в крупных компаниях, таких как Google и Amazon, улучшая языковой перевод, результаты поисковых систем, распознавание фотографий и даже ИИ, который, как и GPT-3, говорит и пишет с устрашающим человеческим качественный.
Революция EUV также затрагивает повседневных потребителей, поскольку машины ASML используются для производства микросхем для продуктов, включая некоторые смартфоны Apple и Mac, процессоры AMD и телефон Samsung Note10+. Поскольку машины EUV становятся все более распространенными, это повысит производительность и снизит энергопотребление все более повседневных устройств. Технология EUV также обеспечивает более простые конструкции, что позволяет производителям чипов работать быстрее и производить больше чипов на пластину, что приводит к экономии средств, которую можно передать потребителям.
Успех EUV-литографии был далеко не гарантирован. Светом так чертовски сложно управлять, что многие годы эксперты предсказывали, что ASML никогда не поймет этого. Фактически, конкуренты ASML, Canon и Nikon, отказались от попыток много лет назад. Итак, у ASML теперь есть свое место на рынке: если вы хотите создавать самые передовые процессоры, вам нужна одна из его машин. ASML производит всего 55 штук в год, и они быстро продаются гигантам отрасли; в настоящее время установлено более 100.
«Закон Мура в основном разваливается, и без этой машины он исчезнет», — говорит Уэйн Лэм, директор по исследованиям в CCS Insight. «Вы не можете делать передовые процессоры без EUV».
Крайне редко одна фирма обладает монополией на такую ключевую часть производства микрочипов. Еще более поразительна кропотливая работа: ASML потребовалось 9 миллиардов долларов на исследования и разработки и 17 лет исследований, непрерывный поток экспериментов, настроек и «ага» прорывов. EUV теперь здесь — он работает. Но усилия и время, которые потребовались для того, чтобы это произошло, а также его позднее появление на сцене, вызывают некоторые неизбежные вопросы. Как долго EUV сможет поддерживать действие закона Мура? И что будет дальше?
ASML использует этого оранжевого робота, созданного KUKA Robotics, для перемещения тяжелых частей машин EUV по полу чистой комнаты.CRISTOPHER PAYNE
Когда Джос Беншоп присоединился к ASML в 1997 году, он после долгой работы в Phillips получил блестящий опыт в индустрии чипов, обеспокоенной своим будущим.
За десятилетия инженеры по производству микросхем овладели искусством литографии. Концепция проста. Вы проектируете компоненты чипа — его провода и полупроводники — а затем вытравливаете их в серию «масок», примерно так же, как вы делаете трафарет, чтобы нанести рисунок на футболку. Затем вы кладете каждую маску на силиконовую пластину и пропускаете через нее свет (примерно эквивалентно распылению краски на трафарет). Свет укрепляет «резист», химический слой на поверхности пластины; затем другие химические вещества вытравливают этот узор на кремнии. В 60-х годах производители микросхем использовали для этого процесса видимый свет с длиной волны всего 400 нанометров. Затем они перешли на ультрафиолетовый свет с длиной волны 248 нм и постепенно уменьшили его до 19.3 нм — то, что часто называют глубоким УФ. Каждый такой переход продлевал действие закона Мура на несколько лет.
Но к концу 90-х они сфокусировали глубокое УФ-излучение так узко, как только могли, и не знали, как уменьшить его.
Казалось, что нужен новый источник света. ASML в то время была небольшой фирмой из 300 человек, которая успешно продавала свои инструменты для глубокой УФ-литографии. Но они поняли, что для того, чтобы оставаться актуальными, им нужно провести серьезные исследования и разработки.
Беншоп — высокий, угловатый руководитель с буйной, но ироничной манерой поведения — был принят на работу в качестве первого научного сотрудника. Он начал посещать большие конференции, проводимые два раза в год, где глубокие мыслители из крупных фирм по производству чипов и правительственных учреждений гладили себя по подбородку и спорили о том, какую форму света использовать дальше.
«Кто будет следующим ребенком в квартале?» — так выразился Беншоп, когда мы говорили на Zoom прошлым летом. Эксперты обдумывали несколько вариантов, и все они имели огромные проблемы. Одна из идей заключалась в том, чтобы использовать ионный спрей для нанесения узоров на чипы; это сработало бы, но никто не мог придумать, как сделать это быстро в больших масштабах.
То же самое было и со стрельбой пучками электронов. Некоторые выступали за использование рентгеновских лучей, которые имеют крошечную длину волны, но у них были свои проблемы. Последней идеей был экстремальный ультрафиолет с длиной волны до 13,5 нанометров, что довольно близко к рентгеновским лучам. Это выглядело хорошо.
Проблема заключалась в том, что для ЭУФ потребовалась бы совершенно новая форма литографической машины. В существующих использовались традиционные стеклянные линзы для фокусировки света на пластину. Но свет EUV поглощается стеклом; он останавливается мертвым. Если вы хотите сфокусировать его, вам придется разработать изогнутые зеркала, подобные тем, которые используются в космических телескопах. Хуже того, EUV поглощается даже воздухом, поэтому вам нужно сделать внутри вашей машины идеально герметичный вакуум. И вам нужно будет надежно генерировать EUV-свет; никто не знал, как это сделать.
Intel поработала над этой идеей, как и Министерство энергетики США.
Но это были в основном лабораторные эксперименты. Чтобы создать жизнеспособную литографическую машину для изготовления чипов, вам необходимо разработать надежные методы, которые могли бы работать быстро и производить чипы в больших количествах.
После трех лет размышлений в 2000 году ASML решила рискнуть компанией и попытаться освоить EUV. Они были крошечной фирмой, но если бы им это удалось, они стали бы гигантами.
Нужно было решить столько инженерных задач, что , как вспоминает Беншоп, «у нас не было импульса сделать это самостоятельно». Поэтому руководители ASML начали обзванивать фирмы, производившие компоненты для существующих машин. Один раз позвонили в Zeiss, немецкую оптическую фирму, которая в течение многих лет производила стеклянные линзы для ASML.
У инженеров Zeiss был опыт работы с EUV, включая создание чрезвычайно точных линз и зеркал для рентгеновских телескопов. Хитрость заключалась в том, чтобы покрыть поверхность зеркал EUV чередующимися слоями кремния и молибдена, каждый толщиной всего в несколько нанометров.
Вместе они создают рисунок, который отражает до 70% падающего на него ультрафиолетового света.
Проблема заключалась в том, как их отполировать. Машине потребовалось бы 11 зеркал, чтобы отражать свет EUV вокруг и фокусировать его на чипе, подобно 11 игрокам в пинг-понг, перебрасывающим мяч от одного к другому по направлению к цели. Поскольку целью было травление компонентов чипа, измеряемых в нанометрах, каждое зеркало должно было быть невероятно гладким. Малейший изъян сбил бы фотоны EUV с пути.
СЛЕВА: Эта полированная оптика является частью датчика энергии, который помогает контролировать интенсивность света внутри литографических машин. СПРАВА: детальный обзор полировального агрегата. Кусочки стекла, показанные здесь, установлены под углом для получения правильного скоса. Эти полировальные агрегаты используются для шлифовки компонентов, которые входят в машину ASML EUV. Некоторые оптические элементы, подобные показанному вверху слева, механически отполированы. Деталь может провести много недель в многоступенчатом процессе полировки, при этом технические специалисты проверяют гладкость с точностью до нанометра.
CHRISTOPHER PAYNE
Чтобы дать представление о масштабе, если вы возьмете зеркало в своей ванной и увеличите его до размеров Германии, на нем будут выпуклости около пяти метров высотой. Увеличенное до такого же размера самое гладкое зеркало EUV, которое когда-либо создавали инженеры Zeiss для космических телескопов, будет иметь выпуклости высотой всего два сантиметра. Эти зеркала для ASML должны были бы быть на порядки более гладкими: если бы они были размером с Германию, их самые большие дефекты могли бы быть меньше миллиметра в высоту. «Это действительно самые точные зеркала в мире», — говорит Петер Кюрц, ответственный за разработку следующего поколения оптики EUV в Zeiss.
Большая часть работы Цейсса будет заключаться в осмотре зеркал на наличие дефектов, а затем с помощью ионного луча сбивать отдельные молекулы, постепенно сглаживая поверхность в течение месяцев и месяцев работы.
Пока Zeiss разрабатывала зеркала, Benschop и другие поставщики ASML работали над другой важной задачей: как создать источник света, который будет производить постоянный поток EUV.
Это будет преследовать их годами.
Чтобы создать EUV, вам нужно создать плазму, привередливую фазу материи, которая существует только при чрезвычайно высоких температурах. После ранних экспериментов по уничтожению лития лазерными импульсами для получения EUV-света они переключились на олово, которое производило более мощные вспышки.
К началу 2000-х, работая с фирмой Cymer из Сан-Диего и немецкой лазерной фирмой Trumpf, ASML построила что-то вроде хитроумного устройства Руба Голдберга. Есть нагретый сосуд, который поддерживает олово в жидком состоянии. Он поступает в сопло, которое выпускает каплю расплавленного олова — «треть диаметра человеческого волоса», — говорит Дэнни Браун, вице-президент компании по техническому развитию, родившийся в Австралии, — в нижнюю часть машины, камеру. системы, отслеживающие его продвижение. Когда он достигает центра светоизлучающей камеры, лазерный импульс поражает каплю олова. Сгоревшее во взрыве, температура которого достигает около 500 000 К, олово образует плазму, которая светится ультрафиолетовым светом.
Механизм повторяет этот процесс, стреляя и уничтожая капли олова 50 000 раз в секунду.
«Скажем так, это не прямолинейно», — сухо говорит Браун.
Хотя теперь они могли генерировать EUV свет, Браун и его команда быстро обнаружили новые проблемы. Ионы от взрывов олова забьют оптику. Они поняли, что для очистки можно закачать водород в световую камеру, где он вступит в реакцию с ионами олова и поможет удалить их.
Но они быстро отставали от графика. Benschop изначально предсказал, что к 2006 году они будут иметь машины EUV «в большом количестве». На самом деле к тому году они произвели только два прототипа. Прототипы работали, выгравируя узоры более точно, чем любая литографическая машина в истории. Но они были мучительно медленными. Источник света был все еще слишком скудным. В литографии важен каждый фотон; чем толще вы сможете их создать, тем быстрее вы сможете разместить шаблон на кремнии.
Тем временем машина росла до невероятно сложных размеров.
В нем были роботы-манипуляторы, перемещающие пластины, двигатели, которые разгоняли сетку — этот большой кусок стекла, удерживающий узор — до 32-кратного земного притяжения, и целых 100 000 деталей, 3 000 тросов, 40 000 болтов и два километра шлангов. Хуже того, все было взаимосвязано: одна часть работала, а где-то еще возникала проблема. Выяснилось, например, что тепло от EUV-света микроскопически изменило размеры зеркал. Это вынудило Zeiss и ASML разработать датчики, которые обнаруживали бы любые изменения, запуская программное обеспечение, которое изменяло бы положение зеркал с помощью точных приводов.
«Решая одну проблему, мы переходили к следующей, — говорит Беншоп. «Каждую гору, на которую ты взбирался, ты видел следующую гору, которая была еще выше».
Многие наблюдатели в индустрии микрочипов, наблюдая, как ASML снова и снова отстает от графика, полагали, что они потерпят неудачу.
Эти турбомолекулярные насосы удаляют воздух и другие газы для создания вакуума внутри машины EUV, что имеет решающее значение, поскольку свет EUV поглощается воздухом.
Насосы вращаются со скоростью 30 000 об/мин и выбивают отдельные молекулы газа одну за другой.CHRISTOHER PAYNE
«Девяносто пять процентов умных людей думали, что EUV никогда не сработает, — говорит Си Джей Мьюз, аналитик полупроводниковой отрасли из Evercore.
В то время как ASML усердно трудился над EUV, они и остальная часть отрасли выполняли все более изощренные трюки, чтобы максимально увеличить производительность глубокого ультрафиолетового света, чтобы упаковать больше транзисторов в микросхемы. Один из методов, называемый «иммерсионным», заключался в том, что на чип наносился слой воды, который преломлял входящий свет и позволял ему сфокусироваться более плотно.
Инженеры-литографы также разработали технику многократного формирования рисунка и вырезания слоя чипа — так называемое «множественное формирование рисунка» — для получения более мелких деталей. Вместе эти подходы позволили уменьшить размер компонентов чипа до 20 нанометров.
Но эти причудливые инновации также значительно усложнили процесс производства чипов.
Погружение требовало управления присутствием воды в деликатном процессе литографии, а это непростая задача. А разработчики чипов сочли обременительным изменить свои конструкции для работы с множественными паттернами. Deep UV выдыхался — и все это знали.
Однако к середине 2010-х стало казаться, что EUV наконец может прийти на помощь. Браун и его команда погрузились в научную литературу в поисках способов извлечь больше пользы из каждой капельки олова. Как бывший университетский исследователь, изучавший физику плазмы, он был известен в ASML тем, что поднимал острые научные вопросы; технический директор в шутку вручил ему табличку с надписью «Научно точно, но практически бесполезно».
На этот раз погружение в научную литературу окупилось. Он предложил концепцию двукратного поражения лазером каждой капли олова. Первый взрыв сплющил каплю в форму блина, что позволило второму взрыву — на миллионные доли секунды позже — произвести гораздо больше EUV. Команда Брауна разработала способ сделать это в масштабе.
Другие открытия произошли по счастливой случайности. По мере того, как их способность сжигать олово улучшалась, в процессе производилось больше мусора, чем мог очистить водород. Производительность зеркала ухудшалась. И вот однажды они заметили кое-что забавное: зеркала не портились так быстро после того, как машина была открыта для обслуживания. Как оказалось, кислород во входящем воздухе помог обратить загрязнение вспять. ASML предусмотрел в конструкции время от времени добавление небольшого количества кислорода.
К середине 2017 года у компании наконец-то появилась работающая демонстрация, позволяющая протравливать чипы с приемлемой для отрасли скоростью — 125 пластин в час. Из своего офиса в Сан-Диего Браун смотрел демонстрацию в Нидерландах. Он был в восторге; он переоделся в гавайскую рубашку, заявив, что наконец-то сможет отправиться в отпуск.
«Эта штука была похожа на ззз ззз ззз ззз », — вспоминает он, имитируя скорость движения сетки и движения руки робота каждые 30 секунд.
«Это была последняя костяшка домино, которая, по сути, говорила: «Да, литография EUV будет». Как только рынок понял, что у ASML есть монополия на передовые инструменты, ее акции начали стремительно расти, достигнув 549 долларов и сделав рыночную капитализацию компании почти такой же, как у Intel.
Если вы любите редуктор, как и я, машина действительно великолепна на вид — чудо инженерной мысли. Когда я был в Уилтоне, они подвели меня, чтобы посмотреть на массивный блок фрезерованного алюминия, образующий верхнюю часть устройства. Это восемь футов в длину, шесть футов в ширину и два фута в толщину. Блестящий, как шасси космического корабля, он держит стеклянную сетку, а также имеет огромные бочкообразные молекулярные насосы. Каждый насос содержит крошечные лопасти, которые вращаются со скоростью 30 000 об/мин, высасывая все газы из машины, создавая внутри вакуум. «Они фактически сбивают молекулы газа с пути, одну за другой, — сказал мне Уилан.
Можно утверждать, что главный успех ASML заключается не столько в создании машин, сколько в их измерении.
Когда я снял свой костюм кролика, я посетил механический цех, где вырезали огромные куски стекла для сетки. После того, как каждый кусок стекла измельчен, его помещают на машины, которые постепенно сглаживают его в течение сотен часов в течение нескольких недель. Как сказал мне менеджер механического цеха Гвидо Каполино, они измеряют стекло на всем протяжении, чтобы увидеть, сколько дефектов удаляется, начиная с грубых микрон. Он указал на полировальную машину позади нас, где кусочки стекла медленно вращались поверх взвеси влажной полирующей смеси.
КРИСТОФЕР ПЕЙН
«Здесь изменчивость измеряется ангстремами и нанометрами, — сказал он.
Использование стекла в сетке имеет решающее значение; он не деформируется под воздействием тепла так сильно, как металл. Но чертовски сложно вырезать — еще одна проблема, которую инженерам пришлось медленно решать.
Успех ASML с EUV принес компании глубокое уважение в индустрии микрочипов. Крис Мак, ветеран литографии чипов с четырехлетним стажем, в настоящее время является техническим директором Fractilia, фирмы, которая занимается разработкой программного обеспечения для производства микросхем. Он говорит, что причина, по которой ASML и ее партнеры преуспели там, где другие даже не осмеливались пытаться, — это чистое упорное упорство.
«Они очистили лук», — сказал он мне. «Они идут, О, теперь у меня есть следующий слой. А потом они тянут этот слой. И тогда никто толком не знает, прогнило ли оно в сердцевине или будет хорошо. Они просто продолжают очищать его. И к их чести, они никогда не сдавались».
Теперь, когда у них есть возможность создавать все более и более мелкие компоненты , крупные фирмы, такие как Intel, TSMC и Samsung, могут создавать все более быстрые и энергосберегающие чипы.
«Наши разработчики могут вздохнуть с облегчением, — говорит Сэм Сивакумар из Intel. «Закон Мура жив».
По мере того, как все больше устройств EUV выходит в сеть и их стоимость амортизируется, технология будет распространяться на все большее число повседневных устройств. Единственное место, которое не выиграет от революции EUV — по крайней мере, в краткосрочной перспективе — это Китай.
Источник света EUV находится в испытательном отсеке в чистой комнате ASML.Обеспокоенные тем, что Китай представляет собой технологическую угрозу, администрации Трампа и Байдена успешно оказали давление на Нидерланды, чтобы они не позволили ASML продавать машины EUV клиентам там.
Может ли Китай просто производить свои собственные устройства EUV? Некоторые обозреватели отрасли подозревают, что это невозможно. Успех ASML с EUV потребовал огромного сотрудничества с фирмами, расположенными повсюду, от Германии и США до Японии (что делает химические вещества критически важными для литографических масок).
По словам Уилла Ханта, аналитика из Центра безопасности и новых технологий Джорджтаунского университета, Китай, будучи относительно изолированным, сам по себе имеет мало шансов. «Он не может закрыть этот разрыв», — говорит он.
Что возможно, предполагают другие наблюдатели, так это то, что Китай просто не сможет покупать машины EUV. Как правило, китайские производители чипов работают с инструментами последнего поколения, которые на шаг отстают от того, что используется TSMC на Тайване, Samsung в Корее или Intel в США, говорит Си Джей Мьюз. Поэтому, когда первое поколение машин EUV от ASML станет немного старше — через несколько лет — и промышленность перейдет на более новые модели, Китаю может быть разрешено покупать их.
А на самом деле ASML уже работает над улучшенной версией устройства. Он сможет сфокусировать EUV-свет еще более четко благодаря тому, что известно как более высокая числовая апертура, что позволит ему вытравливать компоненты шириной менее 10 нанометров.
Эта машина EUV с «высокой числовой апертурой» будет иметь большие зеркала, что потребует увеличения размеров всей машины. В настоящее время Intel является первым покупателем одной из этих машин нового поколения и рассчитывает продать свои первые чипы, созданные на их основе, к 2025 году.
ASML и большинство наблюдателей считают, что EUV будет способствовать развитию чипов как минимум до 2030 года, а возможно, и дольше. В конце концов, некоторые уловки, разработанные разработчиками чипов для поддержания глубокого УФ-излучения в течение столь длительного времени, должны быть воспроизведены с EUV.
Но в какой-то момент в следующем десятилетии или около того стремление производителей чипов сократить количество функций начнет наталкиваться на некоторые физические ограничения, которые еще сложнее, чем те, которые они преодолели в настоящее время. Во-первых, начинают возникать квантовые проблемы. Действительно, они уже есть: производителям микросхем, использующим машины ASML EUV, приходится бороться со «стохастическими ошибками» — лучи света EUV естественным образом сбиваются с пути, создавая неправильные узоры на чипах.
Это еще не ошеломляющие проблемы, но чем меньше производителей микросхем, тем больше они будут хмурить брови.
Предполагая, что «высокая числовая апертура» сохраняет действие закона Мура до 2030 года, что произойдет тогда? Отраслевые эксперты считают, что ASML продолжит исследовать устройства с еще более высокой числовой апертурой, что позволит им фокусировать EUV на все более и более мелких точках. В то же время разработчики микросхем изучают стратегии улучшения микросхем, которые не так сильно зависят от дальнейшей миниатюризации, такие как расширение архитектуры вверх и встраивание в третье измерение путем наложения слоев микросхемы. Что касается технологии литографии, которая может появиться после EUV, пока никто не знает. Сивакумар из Intel не стал бы спекулировать; Мак сказал, что, кроме EUV с высокой числовой апертурой, «ничего другого» не находится в стадии интенсивной разработки.
В чистой комнате Wilton Уилан дал мне взглянуть на их машину EUV с высокой числовой апертурой.