Как спасти двигатель внутреннего сгорания / НГ-Энергия / Независимая газета
Строительство завода электромобилей американской корпорации Tesla под Берлином. Фото Reuters
Каждая четвертая новая легковая машина в Германии имела в 2020 году альтернативный двигатель. Из электрических моделей наибольшим спросом пользовались малый класс и внедорожники. Об этом сообщает немецкое государственное информационное агентство Deutsche Welle (DW). Продажи автомобилей марки Mercedes выросли в Германии в 2020 году на 545,7%, у бренда Volkswagen рост составил 463,3%, Renault продал на 233,8% больше, Hyundai – на 215,5%, Audi – на 133,5%, Tesla – на 55,9%… Такие астрономические цифры опубликовало Федеральное автотранспортное ведомство (KBA). Речь идет о немецком рынке электромобилей.
Бум гибридов и электромобилей на падающем рынке
В ситуации, когда число проданных в ФРГ в прошлом году новых легковых машин из-за пандемии коронавируса, двух локдаунов и рецессии снизилось по сравнению с 2019 годом на 19%, в данном сегменте крупнейшего в Европе автомобильного рынка наблюдался бурный рост.
Ведомство включает в эту категорию не только электромобили и различные виды гибридов, но также легковые машины, работающие на водороде и газе – компримированном или сжиженном. Однако на немецком рынке они продолжают играть незначительную роль. Продажи автомобилей на компримированном газе, к примеру, упали в прошлом году на 6,1% и составили всего 7159 единиц.
Так что в Германии из всех альтернатив классическим двигателям внутреннего сгорания (ДВС), бензиновым и дизельным, в начале нового десятилетия перспективной представляется только электрическая тяга.
Переходу на нее из экологических и климатических соображений активно содействует правительство Германии, предоставляя покупателям электромобилей и плагин-гибридов субсидии, которые могут достигать 9 тыс. евро.
Благодаря этой системе субсидирования и произошел тот коренной перелом, которого добились в 2020 году BEV и PHEV на немецком рынке. Именно так трактует итоги прошлого года глава KBA Рихард Дамм: электромобильность перестала быть экзотикой, она прочно вошла в жизнь страны.
«При сохранении темпов роста регистрации новых автомобилей на электрической тяге примерно в 22%, достигнутых в последнем квартале 2020 года, можно будет добиться провозглашенной федеральным правительством цели – выйти на уровень от 7 млн до 10 млн зарегистрированных в Германии электрических автомобилей к 2030 году», – считает глава автотранспортного ведомства.
В 2020 году больше всего от этого тренда выиграл тот немецкий автостроитель, который решительнее других сделал ставку на электрификацию выпускаемого им легкового автотранспорта: группа Volkswagen.
Статистика KBA показывает, что именно этот концерн со всеми его дочерними фирмами и брендами добился в прошлом году самых значительных успехов, став, причем с существенным отрывом от конкурентов, бесспорным лидером на немецком рынке электромобилей и плагин-гибридов, особенно в сегменте BEV.
Конечно, рост продаж электромобилей сразу на 463% во многом связан с эффектом низкой базы: в 2019 году бренд VW еще не мог предложить покупателям ничего оригинального – только оснащенные электрическими моторами модели Golf или, скажем, серийное производство VW ID.3, первого электромобиля компании, с самого начала сконструированного для работы с электрическим двигателем, началось лишь в конце того года.
Но в значительной мере именно эта модель, реально поступившая к дилерам лишь в сентябре 2020 года, обеспечила бренду взрывной рост продаж и, по данным KBA, долю сразу в 23% среди всех новых BEV, зарегистрированных в прошлом году в Германии. На электромобили марки Audi пришлись 4,3%, еще одна дочерняя фирма концерна, Skoda, завоевала 2,4% при росте продаж за год на 132,7%.
Таким образом, по итогам 2020 года группа Volkswagen контролирует примерно 30% немецкого рынка электромобилей. Второе место с долей в 16,2% занял французский автостроитель Renault, чья компактная модель ZOE уже несколько лет пользуется большой популярностью во всей Европе, третье место с долей в 8,3% досталось американской корпорации Tesla.
Сравним эти показатели с данными из Норвегии, ставшей первым в мире рынком, где покупают больше электромобилей, чем легковых машин с двигателями внутреннего сгорания. В 2020 году 54,3% всех зарегистрированных в этой стране новых автомобилей имели электрические или гибридные двигатели, сообщила Служба информации дорожного движения (OFV) в Осло. По итогам 2019 года данный показатель составлял 42,4%.
Обращает на себя внимание, что четыре самые востребованные в Норвегии модели – это чисто электрические BEV: внедорожник Audi e-tron, Tesla Model 3, Volkswagen ID.3 и Nissan Leaf.
Статистика KBA позволяет сделать еще некоторые выводы о специфике немецкого рынка электромобилей. Лучше всего в 2020 году продавались BEV, относящиеся к малому классу (29,9%), к городским внедорожникам SUV (19,9%), к компактному классу (19,6%) и к классу мини (16,2%). Средний класс был меньше востребован, бизнес-класс – существенно меньше.
Таким образом, жители Германии приобретали электромобили главным образом для езды по городу или в качестве второго автомобиля в семье. Либо останавливали свой выбор на особо модных в последнее время городских внедорожниках. Именно в этих сегментах рынка группа Volkswagen с брендами VW и Audi хорошо позиционирована. К классу SUV относится и электромобиль VW ID.
Но как раз в этом классе концерн может вскоре столкнуться с мощной конкуренцией со стороны американской компании Tesla, которая после завершения строительства своей гигафабрики под Берлином собирается уже летом этого года начать там выпуск городского внедорожника Model Y.
Однако «хоронить» двигатель внутреннего сгорания в Германии еще рано.
Спасение двигателя внутреннего сгорания
Немецкая газета Welt опубликовала на днях статью о путях спасения двигателя внутреннего сгорания в условиях климатического разворота. Как известно, эти шаги являются крайне актуальными. Дело в том, что Еврокомиссия предложила проект ужесточения выбросов для автомобилей. Речь идет о нормативах Евро-7, которые должны быть введены с 2025 года. Глава немецкого союза автомобильной промышленности (VDA) Хильдергард Мюллер сравнивает это нововведение с фактическим запретом двигателя внутреннего сгорания.
При этом экология не получит никакой выгоды. По мнению Пипера, электромобили имеют на самом деле гораздо худший баланс двуокиси углерода по сравнению с самыми современными дизельными автомобилями, которые после введения Евро-7 не будут больше собираться. На этот счет известно исследование группы CESifo из мюнхенского Института экономических исследований (IFO).
Сравнительное исследование транспортных средств среднего класса Tesla Model 3 и Mercedes C 220 d показало, что первая модель выбрасывает в атмосферу больше углекислого газа, чем второй автомобиль – с дизельным двигателем. К такому выводу пришли ученые исследовательской группы CESifo Института экономических исследований в Мюнхене. Результаты их работы представлены на сайте учреждения.
Опасный для окружающей среды электромобиль
Несмотря на мнение большинства о том, что массовое внедрение электромобилей экологически безопасно, выяснилось, что электромобиль производит на 25% больше выбросов, чем модель немецкого автоконцерна.
Mercedes C 220 d выделяет 117 г диоксида углерода за километр, в то время как электромобиль – 159 г.
В исследовании подчеркивается, что добыча и переработка лития, необходимого для производства аккумуляторных батарей, также требует большого количества энергии. Батарея мощностью 75 кВт-ч выделяет от 10 тыс. до 14 тыс. кг углекислого газа. По мнению ученых, ввиду 10-летнего срока эксплуатации аккумулятора и среднегодового пробега электромобиля в 15 тыс. км, на который рассчитана батарея, на изготовление и дальнейшую переработку аккумулятора приходится 73–98 г углекислого газа на километр.
Отмечается, что дизельные двигатели, работающие на метане, то есть природном газе, значительно меньше загрязняют окружающую среду. В сравнении с дизельными двигателями выбросы метанового мотора меньше на треть. В настоящее время крупнейшие автоконцерны форсируют производство электромобилей. Так, например, японский производитель Toyota объявил о намерении ориентировочно к 2025 году полностью прекратить выпуск автомобилей с бензиновыми или дизельными двигателями, оставив в своей модельной линейке только гибриды, электромобили и автомобили, работающие на водороде.
Катализаторы и альтернативное топливо
Сторонники традиционного двигателя внутреннего сгорания делают сегодня ставку на новые катализаторы, в которых применяются… препараты из мочевины – AdBlue. Подобные катализаторы резко снижают в выхлопных газах оксид азота. Сегодня они находят применение автомобильной промышленности для достижения норм Евро-6. Зеленые в Европарламенте требуют дальнейшего совершенствования катализаторов с AdBlue и полагают, что это поможет внедрению норм Евро-7 для традиционных автомобильных моторов.
В Германии по этому поводу разгорается дискуссия о новой концепции энергетического налога и замене им традиционного топливного налога, который учитывается в цене бензина на немецких бензоколонках. На сегодня, по данным Statista, в цене 1,449 евро за литр Супер, на налоги приходится 65% цены. Важнейшими налогами при этом являются наряду с НДС энергетический или топливный налог.
Речь идет о том, чтобы бензин или дизель оценивался с позиций воздействия на окружающую среду и эмиссии двуокиси углерода.
Это позволило бы повысить конкурентоспособность альтернативных видов топлива, которые более благоприятны в отношении окружающей среды. Консалтинговая фирма Frontier Economics и исследовательский институт при Кельнском университете (FiFo) разработали концепцию реформы энергетического налога с позиций усиления охраны окружающей среды. С точки зрения разработчиков, чтобы достичь климатических целей, и на транспорте необходимо наряду с повышением уровня электромобильности активнее внедрять альтернативные виды топлива. В данном случае речь идет о биотопливе из растительных масел и отходов, а также о новых видах топлива, производимого исключительно с использованием возобновляемых источников энергии. Речь идет о водороде. Разумеется, производство такого топлива дороже, чем изготовление топлива из ископаемого сырья. Но чтобы обеспечить их выход на рынок, необходимо создание соответствующих условий, и главную роль в создании таких условий будет играть налоговая политика.
Сегодня же, указывает газета, именно роль такого регулятора, как энергетический налог, остается вне поля зрения экологов.
Подход к энергетическому налогу должен быть изменен. Как известно, в Германии с 15 июля 2006 года он в качестве потребительского налога заменил налог на нефтепродукты и регулирует налогообложение всех видов энергоносителей как природного, так и искусственного происхождения. Вопрос заключается в том, что именно облагать налогом. Немецкий институт прикладной экологии (Institute for Applied Ecology) рекомендует дополнительно включить в энергетический налог ставку на выбросы двуокиси углерода.
Иной подход демонстрирует уже упомянутая выше группа ученых из FiFo Кельнского университета. Они предлагают изменить измеряемую базу энергетического налога. Если в действующем налоге в части автомобильного бензина или дизельного топлива налогом облагается, по сути, уровень содержания серы, то в будущем налогом должен облагаться только уровень содержания углерода ископаемого топлива. Благодаря этому альтернативные виды топлива станут конкурентоспособнее, чем традиционные виды топлива, производимые из нефти.
Встает вопрос – что это даст? В сравнении с планами по введению Евро-7, который может исключить использование двигателя внутреннего сгорания, новое налогообложение топлива позволит сохранить парк автомобилей с двигателем внутреннего сгорания. Адриан Виллиг, управляющий немецкого научно-исследовательского института тепла и мобильности (IWO), который совместно с экспертами объединения топливной промышленности Германии (MWV) подготовил исследование по перспективам двигателя внутреннего сгорания в мире, утверждает, что даже при бурном расширении электромобильности в 2030 году по дорогам Германии будут ездить 35 млн автомашин с двигателем внутреннего сгорания и жидкие виды топлива по-прежнему будут играть важную роль в транспорте. Отсюда и необходимость того, чтобы и двигатель внутреннего сгорания вносил свой вклад в снижение выбросов парниковых газов. Предлагаемые изменения могут позволить реализовать в случае бензина и дизеля, производимых из ископаемых энергоносителей, налоговую ставку в 300–400 евро на тонну выбросов СО2, которые потребителя не столь затронут, как введение Евро-7.
А для инвесторов будет дан сигнал вкладывать средства в производство альтернативных видов топлива.
Двигатель внутреннего сгорания
Содержание статьи
1. Применение
2. Классификация
3. Запуск (стартер)
4. Загрязнение воздуха
Определение 1
Двигатель внутреннего сгорания — двигатель, в котором топливо сгорает непосредственно в рабочей камере двигателя.
Первый двигатель внутреннего сгорания (коммерчески успешный) был создан Этьеном Ленуар около $1859$ г. и первый современный двигатель внутреннего сгорания был создан в $1876$ году Николаусом Отто.
Двигатели внутреннего сгорания чаще всего используются для приведения в движение транспортных средств — (автомобилей, мотоциклов, судов, локомотивов, самолетов) и других мобильных машин.
Применение
Поршневые двигатели являются на сегодняшний день наиболее распространенным источником питания для наземных и водных транспортных средств, в том числе автомобилей, мотоциклов, кораблей и в меньшей степени, локомотивов (некоторые из них электрические, но большинство используют дизельные двигатели).
Роторные двигатели конструкции Ванкеля используются в некоторых автомобилях, самолетах и мотоциклах.
Там, где требуются очень высокие соотношения мощности к весу, двигатели внутреннего сгорания используются в виде турбин внутреннего сгорания или двигателей Ванкеля.
Классификация
Есть несколько возможных способов классификации двигателей внутреннего сгорания.
Поршневые:
По количеству ударов
- Двухтактный двигатель;
- Четырехтактный двигатель (с циклом Отто)
- Шеститактный двигатель
По типу розжига
- Двигатель с воспламенением от сжатия;
- Двигатель с искровым зажиганием (обычно встречаются в бензиновых двигателях)
Роторные:
Следующие типы реактивных двигателей также типы газовых турбин:
- турбореактивный
- турбовентиляторный
- турбовинтовой
Запуск (стартер)
Стартер является электродвигателем, пневматическим двигателем, гидравлическим двигателем, двигателем внутреннего сгорания, используемый для вращения двигателя внутреннего сгорания таким образом, чтобы инициировать работу двигателя под его собственной силой.
Двигатели внутреннего сгорания должны иметь циклы, с которых начинается запуск. В поршневых двигателях это достигается путем поворота коленчатого вала, который запускает циклы пуска, сжатия, сгорания и выхлопа.
Замечание 1
Наиболее часто встречающиеся способы запуска ДВС сегодня это с помощью электрического двигателя.
Другой способ запуска является использование сжатого воздуха, который прокачивают в некоторых цилиндрах двигателя, для того, чтобы запустить его.
Турбинные двигатели часто запускаются с помощью электромотора.
Загрязнение воздуха
Двигатели внутреннего сгорания, такие как поршневые двигатели внутреннего сгорания, производят выбросы в воздух, из-за неполного сгорания углеродистого топлива. Основные производные процесса являются диоксид углерода СО2, вода и сажа – ее также называют твердой частицей. Следствия от вдыхания частиц были изучены в организме человека и животных, и включают в себя астму, рак легких, сердечно — сосудистые проблемы, и преждевременную смерть.
Есть, однако, некоторые дополнительные продукты процесса горения, которые включают оксиды азота и серы, а также некоторые несгоревшие углеводороды, которые зависят от условий эксплуатации.
Не все топливо полностью израсходуется в процессе сгорания. Небольшое количество топлива, присутствует после сгорания, а некоторое вступает в реакцию с образованием кислородсодержащих соединений, таких как формальдегид или ацетальдегид. Неполное сгорание обычно возникает в результате недостатка кислорода для достижения идеального стехиометрического соотношения.
Угольное топливо содержит серу и примесь, которое в конечном счете производит монооксид и диоксид серы, который содержится в выхлопных газах, что способствует кислотным дождям.
Микродвигатели
Микродвигатели Программа исследований двигателей внутреннего сгорания миллиметрового масштаба разрабатывается совместно Кембриджским центром исследований горения и Центром микроинженерии и нанотехнологий Бирмингемского университета.
Этот проект микродвигателя объединяет новинки в производстве, сгорании и конструкции микродвигателя с тесным взаимодействием микропроизводства и опыта в области сгорания.
Большинство жидких углеводородных топлив содержат в 300 раз больше энергии на единицу веса, чем никель-кадмиевые батареи, и в 100 раз больше, чем литий-ионные батареи. Микродвигатель мог бы высвобождать энергию из топлива и, возможно, заменять батареи в портативных устройствах.
Он не только прослужит намного дольше, чем батарея того же веса (примерно в 20 раз при КПД 10%), но и потребует меньше времени для замены топливной капсулы. В качестве очень компактного источника энергии микродвигатели могут найти применение в медицинских устройствах, военной технике, КПК, ноутбуках, мобильных телефонах и даже игрушках!
Первоначальная идея создания микродвигателя с использованием технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС) была предложена Аланом Эпштейном и Стивеном Сентурия из Массачусетского технологического института (MIT) в середине 1990-х годов.
Исследования в Европе начались в Бирмингемском университете в 1999 году и привели к запатентованному процессу изготовления и нескольким прототипам микродвигателей. Предлагаемый совместный проект между двумя университетами предполагает создание микродвигателя внутреннего сгорания с габаритными размерами платформы 5 х 15 х 3 мм и ожидаемой выходной мощностью 11,2 Вт при скорости порядка 50 000 об/мин.
Одна из основных проблем микродвигателей заключается в том, что компоненты на основе кремния не выдерживают высоких температур сгорания. Второй барьер заключается в том, чтобы фактически обеспечить устойчивое горение в небольших размерах, на которые влияет теплопередача. Решение, предложенное исследователями, состоит в том, чтобы сделать микрокомпоненты из керамических материалов и запустить двигатель на высоких скоростях, используя процессы самовоспламенения, чтобы решить проблему теплопередачи. Исследователи надеются, что развитие процесса позволит вывести микродвигатели на рынок.
Источник: Кембриджский университет.
Узнать больше
Разработка сокристаллов: технология создания многофункциональных материалов
Цитата : Микродвигатели (2006, 12 января) получено 29 октября 2022 г. с https://phys.org/news/2006-01-micro-engines.html
Этот документ защищен авторским правом. Помимо любой добросовестной сделки с целью частного изучения или исследования, никакие часть может быть воспроизведена без письменного разрешения. Контент предоставляется только в ознакомительных целях.
Micro, производство двигателей внутреннего сгорания с элементами глубиной 900 мкм Через DRIE title={Микро, производство двигателей внутреннего сгорания с 9Элементы глубины 00 мкм через DRIE}, автор = {Аарон Кноблох и Мэтью Василик, Карлос Фернандес-Пелло и Альберт П.
Пизано},
год = {2003}
} - A. Knobloch, M. Wasilik, A. Pisano
- Опубликовано в 2003 г.
- Engineering
Представлены новые результаты разработки микродвигателя внутреннего сгорания, изготовленного в процессе, позволяющем достичь глубины 900 мкм методом глубокого реактивного ионного травления (DRIE). Односторонний процесс травления глубиной 900 мкм с высокой селективностью по маске используется для создания прямых структур боковых стенок с низкой шероховатостью боковых стенок. Это исследование является частью усилий по созданию портативной системы питания роторного двигателя на основе МЭМС (MEMS REPS), способной производить мощность порядка милливатт с…
Просмотр через Publisher
www-bsac.eecs.berkeley.edu
Оптимизированный ультра-DRIE для системы питания роторного двигателя MEMS
- Fabian C. Martinez, N. Chen, M. Wasilik, A. Pisano
Engineering
- 2004
Здесь представлены результаты разработки процесса сверхглубокого реактивного ионного травления (DRIE).
Исследование является основным этапом производства системы питания роторного двигателя MEMS…
Анализ потока утечки для роторного двигателя MEMS
- Джошуа Д. Хеппнер, Д. Вальтер, А. Пизано
Инженерное дело
- 2003
Представлен анализ потока внутренней утечки для ротационного двигателя, изготовленного на основе МЭМС, с целью определения проектных параметров для систем уплотнения микродвигателя. . Это исследование является частью MEMS Rotary…
MEMS Rotary Engine Power SYSTEM: ОБЗОР ПРОЕКТА И ПОСЛЕДНИЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
- D. Walther, A. Pisano
Engineering
- 2003
В этой работе представлен обзор проекта и результаты последних исследований для проекта MEMS Rotary Engine Power System, проведенного в Центре датчиков и исполнительных механизмов Беркли Калифорнийского университета…
Достижения и проблемы в развитии энергетики маломасштабные системы выработки электроэнергии
- D.
Walther, J. Ahn Машиностроение
- 2011
Walther, J. AhnОбзор технологий внутреннего сгорания в роторных двигателях на тяжелом топливе
- Чол-Бум М. Квеон
Машиностроение
- 2011
Резюме: Роторный двигатель использовался в качестве одной из силовых установок для беспилотных летательных аппаратов из-за его многих достоинств, таких как более высокая удельная мощность, легкий вес, простой дизайн, гладкая поверхность…
СВЕРХТОЛСТЫХ ФЕРРОМАГНИТНЫХ СТРУКТУР ИЗ КРЕМНИЯ
- Дебби Г. Джонс, А. Пизано
Инженерия, материаловедение
Представлен новый процесс изготовления толстых ультраферромагнитных структур в кремнии. Структуры изготавливаются путем гальванопластики NiFe в кремниевые шаблоны с глубоким…
Электрический генератор миллиметрового масштаба
- М. Сенески, С. Сандерс
Машиностроение
Протокол конференции IEEE Industry Applications Conference 2004, 2004.
39-е Ежегодное собрание IAS.- 2004
39-е Ежегодное собрание IAS.Исследование, представленное в этой статье, касается проектирования, изготовления и испытаний электрического генератора, предназначенного для сопряжения с МЭМС-двигателем Ванкеля внутреннего сгорания. Двигатель и…
Низкотемпературные кремниевые микрокомпоненты с покрытием CVD SiC для двигателей с уменьшенным содержанием накипи
- M. Wijesundara, D. Walther, R. Maboudian
Физика
- 2003
Уникальные условия эксплуатации микротермохимических систем создают множество проблем совместимости материалов, которые необходимо решать, особенно при нанесении тонкопленочных покрытий. обеспокоенный. Эти вопросы…
Изготовление сверхтолстых ферромагнитных структур из кремния
- Debbie G. Jones, A. Pisano
Материаловедение
- 2004
Представлен новый технологический процесс для создания сверхтолстых ферромагнитных структур из кремния.
Структуры изготавливаются путем гальванического формования NiFe в кремниевые шаблоны с глубоким…
Изготовление оптически гладких кремниевых форм для сквозных пластин для устройств на основе PDMS с полным внутренним отражением
- Н. Ле, Д. Дао, Р. Йококава, Дж. Уэллс, С. Сугияма
Материаловедение
- 2009
В этой статье представлен систематический подход к изготовлению оптически гладких кремниевых (Si) форм для сквозных пластин для полимерных оптических устройств, в частности поли(диметилсилоксана) (PDMS) с полным внутренним…
ПОКАЗЫВАЕТ 1-10 ИЗ 10 ССЫЛОК Экспериментальные результаты малогабаритных роторных двигателей
В настоящее время осуществляется исследовательский проект по разработке малогабаритных двигателей внутреннего сгорания, работающих на жидких углеводородах. Конечная цель проекта создания МЭМС-роторного двигателя внутреннего сгорания…
Конструкция уплотнения вершины для системы питания роторного двигателя MEMS
- Fabian C. Martinez, A. Knobloch, A. Pisano
Engineering
- 2003
Martinez, A. Knobloch, A. PisanoПроектирование, моделирование и анализ в плоскости представлено консольное верхнее уплотнение для поддержания высоких степеней сжатия в роторном двигателе внутреннего сгорания на основе МЭМС. Эта работа является частью…
МИКРОТЕПЛОВЫЕ ДВИГАТЕЛИ, ГАЗОВЫЕ ТУРБИНЫ И РАКЕТНЫЕ ДВИГАТЕЛИ – ПРОЕКТ MIT MICROENGINE –
- A. Epstein, S. Senturia, L.A. Waitz
Engineering
- 1997
Это отчет о незавершенных работах над газотурбинными двигателями, турбогенераторами и ракетными двигателями на основе микроэлектрических и механических систем (MEMS). двигатели в настоящее время разрабатываются в Массачусетском технологическом институте. Изготовлено в…
Анализ утечки для роторного двигателя MEMS
- Джошуа Д. Хеппнер, Д. Вальтер, А. Пизано
Инженерное дело
- 2003
Представлен анализ потока внутренней утечки для роторного двигателя, изготовленного на основе МЭМС, с целью определения проектных параметров для систем уплотнения микродвигателя.
Это исследование является частью MEMS Rotary…
Низкочастотный процесс глубокого реактивного ионного травления кремния на изоляторе
- M. Wasilik, A. Pisano
Physics
SPIE Micro + Nano Materials, Devices, and Области применения
- 2001
Из-за изначально неоднородных эффектов травления в стандартном процессе DRIE (глубокое реактивное ионное травление) был разработан новый метод специально для травления SOI (кремний на изоляторе). В…
Возможности микроисточников питания для МЭМС
- Paul B. Koeneman, I. Busch-Vishniac, K. Wood
Engineering
- 1997
Большинство микроэлектромеханических источников питания, разработанных сегодня тем самым ограничивая функциональность МЭМС во многих приложениях. Альтернативой этому подходу является…
Характеристика временного мультиплексированного плазменного травителя с индуктивной связью
- A. Ayón, R.A.
